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A Silicon Micromachined Flow Sensor Using Thermopiles for Heat Transfer Measurements

机译：使用热电堆进行传热测量的硅微机械流量传感器

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作者
Watanabe, Kenzo; Oda, Seiji; Anzai, Mitsuyoshi; Uematsu, Shoichi;
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年度 2003
总页数
原文格式 PDF
正文语种 eng
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